Target rotativu di metallu
Campi magnetici è elettrici ortogonali sò appiicati trà u mira di sputtering (catodu) è l'anodu.È riempie u gasu inerte necessariu (di solitu gasu Ar) in a camera di vacuum altu.Sutta l'azzione di un campu elettricu, u gasu Ar hè ionizatu in ioni pusitivi è elettroni.Una certa alta tensione negativa hè appiicata à u mira, l'elettroni emessi da u mira sò affettati da u campu magneticu, a probabilità di ionizazione di u gasu di travagliu aumenta, un plasma d'alta densità hè furmatu vicinu à u catodu, è l'ioni Ar sò affettati. da a forza di Lorentz.Allora accelerate per vulà à a superficia di destinazione, è bombarde a superficia di destinazione à alta velocità, perchè l'atomi sputtered nantu à u mira seguitanu u principiu di a cunversione di u momentu, vola da a superficia di destinazione à u sustrato, è deposita una film d'energia cinetica alta.
Per migliurà ulteriormente a rata d'utilizazione di u materiale di destinazione, un catodu rotante cù una efficienza d'usu più altu hè designatu, è un materiale di destinazione tubulare hè utilizatu per u revestimentu sputtering.A migliione di l'equipaggiu di sputtering richiede chì l'obiettivu sia cambiatu da una forma piatta à una forma tubulare, è u tassu d'utilizazione di u target di rotazione tubulare pò esse altu à u 70%, chì largamente risolve u prublema di bassa utilizazione di u target flat.
Nome di i prudutti | Obiettivu rotativu di metallu |
Materiale | W, Mo, Ta, Ni, Ti, Zr, Cr, TiAl |
Dimensione di vendita calda | ID-133/OD-157x 3191mm ID-133/OD-157 X 3855mm ID-160/OD-180x1800mm Pò esse ancu trasfurmatu secondu e esigenze specifiche di i clienti |
MOQ | 3 pezzi |
Pacchettu | Ply casu di lignu |
Applicazione
U revestimentu sputtering hè un novu tipu di metudu di revestimentu di vapore fisicu.In cunfrontu cù u metudu di revestimentu di evaporazione, hà vantaghji evidenti
in parechji aspetti.Obiettivi di sputtering di metalli sò stati usati in parechji campi.L'applicazione principale di u mira rotating.
■Cellule solari
■Vetru architetturale
■Vetru auto
■Semiconductor
■TV à schermu pianu, etc
L'infurmazione di l'ordine
L'inchiesta è l'ordine deve include l'infurmazioni seguenti:
☑Specificazione di u target ID×OD×L (mm).
☑Quantità necessaria.
☑Per piacè cuntattateci per più bisogni speciali.