U metudu di evaporazione di u fasciu di l'elettroni hè un tipu di revestimentu di evaporazione di vacuum, chì usa fasci di elettroni per scaldà direttamente u materiale di evaporazione in cundizioni di vacuum, vaporize u materiale di evaporazione è u trasportu à u sustrato, è condensate nantu à u sustrato per furmà una film fina. In u dispusitivu di riscaldamentu di u fasciu di elettroni, a sustanza riscaldata hè posta in un crucible rinfriscatu à l'acqua, chì pò evità a reazione trà u materiale di evaporazione è u muru di u crucible è affettanu a qualità di a film. Multiple crucibles ponu esse posti in u dispusitivu per ottene l'evaporazione simultanea o separata è a deposizione di diverse sustanzi. Cù l'evaporazione di u fasciu di elettroni, ogni materiale pò esse evaporatu.
L'evaporazione di u fasciu d'elettroni pò evaporà i materiali à puntu di fusione altu. In cunfrontu cù l'evaporazione di riscaldamentu di resistenza generale, hà una efficienza termica più alta, una densità di corrente di fasciu più alta è una velocità di evaporazione più veloce. Film è film di diversi materiali ottici cum'è vetru conduttivu.
A caratteristica di l'evaporazione di u fasciu elettronicu hè chì ùn coprerà micca o raramente i dui lati di a struttura tridimensionale di destinazione, è di solitu si deposita solu nantu à a superficia di destinazione. Questa hè a diffarenza trà l'evaporazione di u fasciu elettronicu è u sputtering.
L'evaporazione di u fasciu d'elettroni hè cumunimenti utilizata in u campu di a ricerca è l'industria di i semiconduttori. L'energia di l'elettroni accelerata hè aduprata per chjappà u mira materiale, facendu chì l'obbiettivu materiale si evapora è si alza. Eventualmente dipositu nantu à u mira.
Tempu di Postu: Dec-02-2022